微纳智能感知技术研究所依托于教育部重点实验室和陕西省重点科技创新团队，立足于智慧矿山集成感知技术研究领域，以微声学传感技术为主体，结合光纤传感技术、电离传感技术、碳纳米管阵列传感技术及无线传感物联技术等，进行集成化、无线化、高精度微纳智能传感技术研发，以及相关铁电、压电、光电、热电和介电等电学功能材料制备及机理研究，旨在研发出可应用于人工智能、智慧矿山、智慧城市、智慧家居等高精度集成化传感系统。

微纳智能感知技术研究所拥有先进的微纳集成与智能感知实验室，该实验室具备百级与千级超净间、0.5微米精度德国进口SUSS光刻系统、Micro湿法刻蚀系统、磁控薄膜溅射系统、电子束与热阻蒸发沉积系统、原子力显微镜、F&K引线键合机、微纳探针台、半导体器件测试仪、网络分析仪设备。同时，研究所已与美国宾州州立大学、日本京都大学、南非开普敦大学、中科院声学所、南京大学、西安交通大学、陕西麟德惯性电气有限公司等企事业单位形成长期、紧密的科研和技术产业化合作关系。目前，研究所拥有固定成员16人，其中核心骨干10人，教授3人，副教授及高工6人，博士讲师7人。近五年，研究所承担国家级科研项目16项，省部级项目22项，发表论文40余篇，其中SCI收录30余篇，获省部级奖励3项，获批发明专利25项。

微纳智能感知技术研究所坚持以本源创新型理念为指导，研发团队在微纳集成感知技术以及相关功能材料研发领域具有重大项目攻关能力，期望能以推动矿山井下集成智能感知技术为契机，从而助推我国人工智能、智慧技术、无线物联、微纳制备及新能源材料等核心技术发展。我们热切期待各位英才的加盟，也真诚希望与国内外优秀单位在创新研发方面真诚合作、共赢发展！

研究所所长：张涛教授

电话：15029808277

E-mail：tzhang_psu@yahoo.com

智慧矿山井下集成智能感知技术研发规划

研究所团队部分成员

研究所主办学术会议

研究所学术交流

微纳集成与智能感知实验室内景一

微纳集成与智能感知实验室内景二